自動300mm晶圓搬送機
AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。
**且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和**。
堅固、可靠和**傳送 ? 延續了上一代機型的堅固性、可靠性和**性,能夠**可靠的傳送300 mm晶圓。 ? 薄片,Warped晶圓皆能**搬送。 ? 宏觀觀察位置的*優化和操作單元的集中排列,提高了設備的操作舒適性。
AL120-12 晶圓搬送機規格: